Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Чистяков, Ю. Д. - Влияние свойств полупроводниковой подложки на селективность сухого проявления электронорезиста
Чистяков, Ю. Д. - Влияние свойств полупроводниковой подложки на селективность сухого проявления электронорезиста

Статья
Автор: Чистяков, Ю. Д.
Доклады Академии наук СССР: Влияние свойств полупроводниковой подложки на селективность сухого проявления электронорезиста
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Чистяков, Ю. Д.
Доклады Академии наук СССР: Влияние свойств полупроводниковой подложки на селективность сухого проявления электронорезиста
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Чистяков, Ю. Д.
Влияние свойств полупроводниковой подложки на селективность сухого проявления электронорезиста / Ю. Д. Чистяков, В. И. Тригуб // Доклады Академии наук СССР. – 1990. – Т. 313, № 5. – С. 1124-1126.
-- 1. Техническая физика.
Чистяков, Ю. Д.
Влияние свойств полупроводниковой подложки на селективность сухого проявления электронорезиста / Ю. Д. Чистяков, В. И. Тригуб // Доклады Академии наук СССР. – 1990. – Т. 313, № 5. – С. 1124-1126.
-- 1. Техническая физика.