Электронный каталог СКУНБ им. Лермонтова

Статья


Одиноков, С. Б.
Принципы построения ультрафиолетового оптико-электронного голографического нанолитографа / С. Б. Одиноков, А. С. Кузнецов, С. С. Донченко // Естественные и технические науки.– 2013.– № 5 (67).– С. 267-269.
Приведена модифицированная схема оптико-электронного ультрафиолетового лазерного литографа с голограммным оптическим компонентом, позволяющая устранить существующие недостатки современных голографических литографов.


-- 1. Оптика.